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型號:BGS-6341

電子薄膜應(yīng)力分布測試儀

描述:該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子線上和科研、教學(xué)等域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點數(shù)多, 能給出場面型分布結(jié)果, 適合于微電子線上產(chǎn)量的快速檢驗和微電子研究。

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時間

    2024-04-16
  • 訪問量

    916
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電子薄膜應(yīng)力分布測試儀 型號:BGS-6341

該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子線上和科研、教學(xué)等域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點數(shù)多, 能給出場面型分布結(jié)果, 適合于微電子線上產(chǎn)量的快速檢驗和微電子研究。
儀器基于干涉計量的場測試原理, 可實時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時淘汰早期失效產(chǎn)品。
際*的錯位相移
計算機自動條紋處理
測試過程自動
的曲面補償測試原理
zui大樣品尺寸 ≤100mm (4英寸)
曲率范圍 |R|≥5米
測試度 5%
單片測量時間 3分鐘/片
結(jié)果類型 面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示能 三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源 AC 220V±10%, 50Hz±5%
zui大耗 100W
外型尺寸(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重量 36kg

北京恒奧德儀器儀表有限公司
:鵬
: /57196682 /57191006//


 

:hadgs2009@yahoo.cn


地址:北京市海淀區(qū)阜成路42號院6號C-211

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